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SJ6000激光光學干涉儀是一個交流測試系統，當激光光束強度受環境影響發生變化時，其頻率不會受光強變化影響發生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000中圖激光干涉儀使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)。配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。

便攜自動精密轉臺，主要特點：小巧便攜、功能強大、無線操作；回轉軸測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。

激光干涉儀SJ6800，高精度測量、應用廣泛、軟件功能強大，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準

激光干涉儀，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器，在*端制造領域應用廣泛。