SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測量儀以白光干涉技術為原理,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀以白光干涉技術為原理,獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。
中圖儀器SuperViewW白光三維測量系統(tǒng)基于白光干涉原理,能以3D非接觸方式對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。
中圖儀器SuperViewW中圖科研級白光干涉儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它能以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。
中圖儀器SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀基于白光干涉原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉膜厚儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
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