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SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1半導(dǎo)體薄膜光學(xué)輪廓無損檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

中圖儀器W1光學(xué)全自動(dòng)三次元輪廓測量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高，且其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性。

SuperViewW1光學(xué)輪廓粗糙度儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

光學(xué)掃描式成像測量機(jī)輪廓儀，以光學(xué)成像測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，配合高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和花崗巖龍門式底座，實(shí)現(xiàn)了測量精度、速度、穩(wěn)定的**結(jié)合；結(jié)合高精度圖像分析算法，并融入閃測原理，在測量范圍內(nèi)，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動(dòng)定位測量對象、匹配模板、測量評價(jià)、報(bào)表生成，真正實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)測量。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。