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中圖儀器SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀粗糙度在線檢測(cè)設(shè)備基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SJ5800系列軸承表面粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，專業(yè)測(cè)試軸承內(nèi)外側(cè)。分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，高穩(wěn)定、高精密測(cè)量軸承。

中圖儀器國(guó)內(nèi)粗糙度儀和輪廓儀廠家采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量。

SuperViewW廣東光學(xué)3D輪廓儀表面粗糙度檢測(cè)儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SJ5700DUAL雙向型輪廓掃描儀X軸、Z軸采用獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，使用兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法，可實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描，測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過(guò)能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問(wèn)題。可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力。

中圖儀器SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能和自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。