中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸,不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。
中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺(XY)局部位移精度和線性精度為亞微米,Z向運動精度可達數納米,線性精度可達亞納米級別。
中圖儀器3d輪廓檢測儀讓輪廓測量價格變實惠,適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、臺階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
W1光學輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
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