SuperViewW1光學表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
SJ5700S輪廓度粗糙度一體測量儀采用進口扇形光柵采集數據,測量量程大、精度高,整體系統裝調方便、操作簡單、測量效率高。能實現尺寸、形狀、粗糙度三個要素的精準測量。
SuperViewW1光學3d表面輪廓儀器主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量,主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓,主要用于超精密加工行業。
SuperView W1三維光學成像輪廓儀測粗糙度對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面粗糙度形貌的3D測量。
SuperViewW1非接觸式三維光學輪廓儀器可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。
SJ5780一鍵粗糙度輪廓度測量儀是大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀器,可以全量程大范圍連續掃描,擁有長達數百毫米的持續爬坡能力。
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