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SuperViewW1三維光學輪廓形貌儀是一款既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的光學檢測儀器。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

SuperViewW1光學輪廓測量儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。其雙通道氣浮隔振系統，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

中圖儀器輪廓儀檢測儀器可廣泛應用于精密機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金、光學加工等行業。該儀器可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數、微觀輪廓度參數的測量。

中圖儀器輪廓儀接觸式測量儀采用超高精度衍射光學測量系統、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能伺服驅動電機、高性能計算機控制系統技術，實現對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。測針會自動接觸工件表面，并按設定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價參數即可進行評價。

中圖儀器3d視覺輪廓儀測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。