機(jī)床激光干涉儀是集光、機(jī)、電、傳感技術(shù)、信息技術(shù)于一體的經(jīng)典“測(cè)控技術(shù)”儀器，是迄今*的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量，以及進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等動(dòng)態(tài)測(cè)量，廣泛應(yīng)用于先進(jìn)制造、科研院所、精密測(cè)量等領(lǐng)域。

　　本產(chǎn)品旋轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量系統(tǒng)包含激光頭，角度干涉鏡和角度反射鏡，與平移軸傾斜誤差測(cè)量類似，只不過(guò)旋轉(zhuǎn)軸的角度反射鏡是安裝在轉(zhuǎn)臺(tái)組件上，該組件可以繞中心自身旋轉(zhuǎn)。

　　因此，在測(cè)量時(shí)，待測(cè)的旋轉(zhuǎn)軸向正方向旋轉(zhuǎn)某一個(gè)角度后，轉(zhuǎn)臺(tái)組件會(huì)沿著其逆方向精確地旋轉(zhuǎn)該角度，例如待測(cè)軸沿正方向旋轉(zhuǎn)15°，由于誤差的存在，則可能旋轉(zhuǎn)（15+Δ）°；此時(shí)，轉(zhuǎn)臺(tái)組件會(huì)沿著逆方向精確旋轉(zhuǎn)，即沿負(fù)方向精確旋轉(zhuǎn)15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對(duì)著激光頭。而誤差Δ就是旋轉(zhuǎn)軸的定位誤差。

　　機(jī)床激光干涉儀的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)都有哪些呢？

　　1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

　?、偈褂妹绹?guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

　?、谝怨獠ㄩL(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

　?、凼褂酶咚俟怆娦盘?hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

　　④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

　?、莘蛛x式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

　　2. 應(yīng)用范圍廣

　?、倏梢詫?shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

　?、诮Y(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

　　③機(jī)床激光干涉儀可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

　　3.軟件界面友好

　　①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

　　②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。

　?、巯?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。